在传统光学系统中，例如照相机、传统的紫外线光刻技术，光圈和透镜等光学元件以轴对称…
在传统光学系统中，例如照相机、传统的紫外线光刻技术，光圈和透镜等光学元件以轴对称方式排列在一条直线上。这种方法并不适用于EUV射线，因为它们的波长极短，大多数会被材料吸收。因此，EUV光使用月牙形镜子引导。但这又会导致光线偏离中心轴，从而牺牲重要的光学特性并降低系统的整体性能。为解决这一问题，新光刻技术通过将两个具有微小中心孔的轴对称镜子排列在一条直线上来实现其光学特性。它由两个反射镜组成，就像天文望远镜一样。这种配置简单得令人难以想象，但这是通过重新思考光学像差校正理论而实现的，其性能已通过光学模拟软件验证，可保证满足先进半导体的生产。 根据这段文字，下列说法不正确的是：
A. 月牙形镜子引导EUV光可减少材料对光线的吸收B. 借助中心孔轴对称的反射镜可减少光学特性的牺牲C. 光圈和透镜以轴对称的形式排列可实现新光刻技术D. 传统光学系统中元件的排列方式无法用于EUV射线先想一想，再看答案与解析 ▸
正确答案：C
【正确率 78%｜考点：细节判断题】
A项，根据“这种方法并不适用于EUV射线，因为它们的波长极短，大多数会被材料吸收。因此，EUV光使用月牙形镜子引导”可知，表述正确，排除；
B项，根据“但这又会导致光线偏离中心轴，从而牺牲重要的光学特性并降低系统的整体性能。为解决这一问题，新光刻技术通过将两个具有微小中心孔的轴对称镜子排列在一条直线上来实现其光学特性”可知，表述正确，排除；
C项，根据“在传统光学系统中，例如照相机、传统的紫外线光刻技术，光圈和透镜等光学元件以轴对称方式排列在一条直线上”可知，传统的紫外线光刻技术是将光圈和透镜等光学元件以轴对称方式排列在一条直线上，“新光刻技术”偷换概念，当选；
D项，根据“在传统光学系统中，例如照相机、传统的紫外线光刻技术，光圈和透镜等光学元件以轴对称方式排列在一条直线上。这种方法并不适用于EUV射线，因为它们的波长极短，大多数会被材料吸收”可知，表述正确，排除。
本题为选非题，故正确答案为C。
【文段出处】《极紫外光刻新技术问世，能大幅提高能源效率并降低半导体制造成本》
考点细节判断题