传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，而浸入式技术是将空气介质换成液体…

正确答案：C

【正确率 71%｜考点：科技理论与成就】
本题考查科技常识。
A项正确，液体温度的变化将引起折射率的改变。如果液体温度变化不均匀，会导致像面聚焦偏移和球差的改变。在曝光系统中，焦面的偏移可由调焦调平系统校正，然而局部的温度起伏将引起局部的成像质量恶化。
B项正确，光刻机的生产率与照明光的透射率成正比，因此为了减小液体对光线的吸收，液体层的厚度不能太大。
C项错误，在光的大多数波段水的折射率为1.33左右，而在193nm附近，水的折射率高达1.437，因此为满足高折射率和高透射系数的要求，应使用水作为193nm附近光刻的浸没液体，不能任意选择波长。
D项正确，浸入式技术利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨率，其缩短的倍率即为液体介质的折射率。因此，折射率越高的液体就可以得到波长更短的光，提高成像分辨率。【备注：本题D项说法不严谨，注入高折射率的液体改变的应是光的波长，而非频率。】
本题为选非题，故正确答案为C。
（来源：安徽20222022年湖北省公务员录用考试《行测》题（网友回忆版）第13题）